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DX-7系晶棒及晶片角度测量仪是双侧工作台,可同时进行操作,用于对晶棒及晶片的角度进行测量。设备构造:设备分为落地式一体机。
外型尺寸:1132(长)×642(宽)×1200(高)mm。
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样式1 |
样式2 |
样式3 |
功能 |
可测量晶棒的端面和柱面,也可以测量晶片。 |
带有六方型刻度贴片板,可测量晶片端面 |
可测量晶片参考边 |
被测晶体尺寸 |
2-6寸晶棒、长度L≤320mm,2-6寸晶片。 |
2-6寸晶棒、长度L≤100mm,2-6寸晶片。 |
2-6寸晶片。 |
工作台图片 |
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配套夹具 |
①V型夹具(测量晶棒端面时使用) ②底板(测量有参考面的晶棒端面时使用) |
无需夹具 |
无需夹具 |
工作台:以上是常见工作台,可根据客户需要,任选以上2种样品台进行组合,也可以双侧一样,还可以根据被测的晶体尺寸,及晶体被测方位来特殊设计。 |
DX-7系列晶棒、晶片角度测量仪参数对比表
型 号 |
DX-7B |
DX-7BG |
设备精度 |
设备综合精度为±30″ (以供方提供的标准石英片10ī1面测量) |
设备综合精度为±15″ (以供方提供的标准石英片10ī1面测量) |
最小读数 |
10″ |
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仪器配置 |
DX-7B和DX-7BG型X射线单晶定向仪由机台、管套及各种机械附件组成的机械部分;由稳压器、控制器、高压变压器、放大器、计数器、风冷电机、X射线管及各种指示仪表组成的电气部分构成。 |
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技术指标 |
(1)X射线发生器部分: X射线管:铜靶,风扇冷却,阳极接地。 最大管电压:30KVP,全压合闸。 管电流:0—5mA 连续可调,使用2.0mA以上,有可能损坏X光管并加大辐射危害。 (2)输入电源:单相交流220V,50Hz,整机总耗电功率不大于0.3 KW 。 (3)角度测量范围: 2θ角:-10~+110° θ角:-5~+55°。 |
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衍射方式 |
单衍射 |
双衍射 |
放大系统 |
传统放大器 |
新型放大器 |
接收系统 |
计数管计数率为104/秒 |
计数管计数率为108/秒 (是普通系列的1万倍) |
接收器寿命 |
1年 |
3年以上 |
X光管寿命 |
按照国家标准400小时 (X光管可以使用3-4个月) |
是正常使用状况下的2-3倍 (X光管至少可以使用一年) |
X管电流强度 |
1-1.5mA |
0.5-1.0mA |
测量和使用效果 |
X光管使用2-3个月有可能出现多个假峰,影响准确度。需要经常更换X光管,影响生产效率。 |
可以滤掉X光管的杂峰,不存在假峰现象。X光管可以使用1年左右,不需要频繁调整机器。 |
精度 |
精度±30秒(或±0.008度) |
精度±15秒(或±0.004度) |
辐射 |
测量时使用 mA量越来越大,射线辐射量较大。 |
测量时使用 mA量小,射线辐射量较小。 |
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